氣動(dòng)超高真空插板閥系列閥門(mén)為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上合理，在外形上美觀(guān)，并具有動(dòng)作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。真空閥門(mén)是以壓縮空氣推動(dòng)氣缸為動(dòng)力，通過(guò)傳動(dòng)桿推（拉）動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)，帶著驅(qū)動(dòng)體沿軸向運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)體通過(guò)擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開(kāi)啟及關(guān)閉動(dòng)作。閥門(mén)的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

氣動(dòng)超高真空插板閥特點(diǎn)

軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無(wú)潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)；
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小；
閥體采用加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)，體積小、重量輕，外形美觀(guān)；
采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機(jī)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；閥板內(nèi)整體式結(jié)構(gòu)，支撐力均勻。

超高真空氣動(dòng)插板閥主要零件材料

閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠

氣動(dòng)超高真空插板閥主要技術(shù)性能

適用范圍： 105~1.3×10-7Pa
閥體和閥座漏率： ≤1.3×10-7Pa.L/S(DN≤200)；≤6.7×10-7Pa.L/S(DN≥250)
適用溫度： -30~+150℃
閥體烘烤溫度：打開(kāi)時(shí)≤200℃；關(guān)閉時(shí)≤150℃
閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)閥板兩側(cè)的壓差：≤2.7×103Pa
閥門(mén)啟閉時(shí)間：DN 63~250 ≤6s；DN 320~400 ≤10s
氣源壓力： DN 63~200：0.4～0.7MPa；DN 250~400：0.5～0.7MPa
閥門(mén)位置指示：帶有啟閉位置指示開(kāi)關(guān)（磁性開(kāi)關(guān)）
安裝位置：任意

氣動(dòng)超高真空插板閥外形及連接尺寸(mm)