細水霧滅火技術在消防方面的應用始于二十世紀四十年代，當時主要用于特殊的場所，如運輸工具等。由于當時水噴淋滅火技術作為主要發展和研究方向，細水霧滅火技術沒有得到深入研究，故一直發展比較緩慢。隨著科學技術的進步、人們防滅火觀念的轉變，特別是發現鹵代烷滅火劑對大氣臭氧層有破壞作用以及一九八七年蒙特利爾議定書簽署之后，細水霧滅火技術作為哈龍主要替代技術之一得到各界的關注和青睞。細水霧滅火技術在二十世紀九十年代才得到飛躍性地發展。
1993年，美國工程界和科研部門、細水霧系統的制造商、保險公司、行政管理部門和工業用戶代表，組成了美國消防聯合會細水霧滅火系統技術委員會，該委員會開始編制用于規范細水霧技術的NFPA標準，并作為設計和安裝的依據。
1996年，在美國的馬薩諸塞州波士頓市每年5月的年會上，細水霧滅火系統技術委員會提交了細水霧滅火系統標準，并獲得美國消防聯合會的批準。并于同年7月18日頒布，8月9日開始實施。96版NFP被批準為美國國家規范。這是世界上第一本細水霧滅火系統的設計安裝規范，而且是一體性能化的規范。它的出現進一步推動了細水霧滅火技術的深入研究，也預示著細水霧應用將進入一個新階段。
許多發達國家(主要是歐美、日本等國)他們在經歷了多年的理論性試驗探索以及應用性研究后，已經相繼開發出多種類型的細水霧滅火系統。并且開始廣泛應用在相關領域和場所，目前已有產品進入國內市場，有的已投入使用。
中國90年代末開始進行細水霧滅火系統的研究開發和試驗工作，并列為國家“九五”科技攻關項目。其主要是參照美國NFPA750標準并結合我國實際應用情況開展各項研發工作，至此已經相繼開發出相應的細水霧滅火系統，目前已有產品問市。
但至今還沒有一本國家級的有關細水霧滅火系統的設計、施工和驗收標準和規范。目前北京及浙江省的主管部門已制定出相應的細水霧滅火系統設計、施工及驗收規范。
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